HVS 04是海曼的真空传感。HVS VAC 04/HVS VAC 03K/HVS VAC 03k + 04 (dual)这些微型皮拉尼式真空传感器可在压力范围内进行测量,范围从1000mbar(大气压) 降至10⁻³ mbar (HVS 04),以及从10 mbar 降10⁻⁵mbar (HVS 03k)。它们采用小巧坚固的TO-39或TO8金属外壳。将HVS04和HVS03k组装在TO封装中,可实现全压力范围覆盖。

工作温度:
参数名称 符号 Min Typ. Max 单位 测试条件 storage temperature(存储温度) — -40 — 120 ℃ — operating temperature(工作温度) — -20 — 120 ℃ —
电气参数:
参数名称 符号 Min Typ. Max 单位 测试条件 chip size(芯片光敏面积) — — 1.0×1.0 — mm² — resistance(内阻) Rp,k 0.75 0.95 1.15 kΩ 25℃ leakage TO-39 header(TO39 管壳漏率) — — — 1×10−8 mbar·l/s 检漏气体:氦气,压差 1bar operating voltage(工作电压) — — 2 4 V 气压 p=1~1000mbar operating voltage(工作电压) — — 2 — V 气压 p<1mbar signal voltage swing(输出信号幅值) VS 370 — — mV 海曼原厂标准测试工装 signal voltage swing grade B(B 级输出幅值) VS 350 — 370 mV 海曼原厂标准测试工装
HVS 04是海曼的真空传感。HVS VAC 04/HVS VAC 03K/HVS VAC 03k + 04 (dual)这些微型皮拉尼式真空传感器可在压力范围内进行测量,范围从1000mbar(大气压) 降至10⁻³ mbar (HVS 04),以及从10 mbar 降10⁻⁵mbar (HVS 03k)。它们采用小巧坚固的TO-39或TO8金属外壳。将HVS04和HVS03k组装在TO封装中,可实现全压力范围覆盖。

工作温度:
参数名称 符号 Min Typ. Max 单位 测试条件 storage temperature(存储温度) — -40 — 120 ℃ — operating temperature(工作温度) — -20 — 120 ℃ —
电气参数:
参数名称 符号 Min Typ. Max 单位 测试条件 chip size(芯片光敏面积) — — 1.0×1.0 — mm² — resistance(内阻) Rp,k 0.75 0.95 1.15 kΩ 25℃ leakage TO-39 header(TO39 管壳漏率) — — — 1×10−8 mbar·l/s 检漏气体:氦气,压差 1bar operating voltage(工作电压) — — 2 4 V 气压 p=1~1000mbar operating voltage(工作电压) — — 2 — V 气压 p<1mbar signal voltage swing(输出信号幅值) VS 370 — — mV 海曼原厂标准测试工装 signal voltage swing grade B(B 级输出幅值) VS 350 — 370 mV 海曼原厂标准测试工装