HVS VAC 03K是生产的真空传感器,这些微型皮拉尼式真空传感器可在压力范围内进行测量,HVS 03k测量范围是10 mbar 到10⁻⁵mbar (HVS 03k)。它们采用小巧坚固的TO-39金属外壳封装。将HVS04和HVS03k组装在TO封装中,可实现全压力范围覆盖。

工作温度参数:
参数名称 符号 Min Typ. Max 单位 测试条件 storage temperature(存储温度) - -40 - 120 ℃ - operating temperature(工作温度) - -20 - 120 ℃ -
电气参数:
参数名称 符号 Min Typ. Max 单位 测试条件 chip size(芯片吸收面积) - - 4.0×4.0 - mm² - resistance(器件内阻) Rp,k 6.6 8.3 10.0 kΩ 25℃ leakage TO-39 header(TO39 管壳漏率) - - - 1×10−8 mbar·l/s 氦气检漏,压差 1bar operating voltage(工作电压) - - 2 3.2 V - signal voltage swing(标准输出幅值) VS 120 - - mV 原厂标准测试工装 signal voltage swing grade B(B 级输出幅值) VS 100 - 120 mV Heimann 原厂标准测试工装
HVS VAC 03K是生产的真空传感器,这些微型皮拉尼式真空传感器可在压力范围内进行测量,HVS 03k测量范围是10 mbar 到10⁻⁵mbar (HVS 03k)。它们采用小巧坚固的TO-39金属外壳封装。将HVS04和HVS03k组装在TO封装中,可实现全压力范围覆盖。

工作温度参数:
参数名称 符号 Min Typ. Max 单位 测试条件 storage temperature(存储温度) - -40 - 120 ℃ - operating temperature(工作温度) - -20 - 120 ℃ -
电气参数:
参数名称 符号 Min Typ. Max 单位 测试条件 chip size(芯片吸收面积) - - 4.0×4.0 - mm² - resistance(器件内阻) Rp,k 6.6 8.3 10.0 kΩ 25℃ leakage TO-39 header(TO39 管壳漏率) - - - 1×10−8 mbar·l/s 氦气检漏,压差 1bar operating voltage(工作电压) - - 2 3.2 V - signal voltage swing(标准输出幅值) VS 120 - - mV 原厂标准测试工装 signal voltage swing grade B(B 级输出幅值) VS 100 - 120 mV Heimann 原厂标准测试工装